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本发明公开了一种改善光学串扰高分辨率微显示器的制作方法,包括以下步骤:驱动电路衬底上制备阳极;PDL层黑色光刻胶涂布‑固化;高分辨率光刻胶涂布、曝光、显影;刻蚀;有机发光层和阴极蒸镀;封装层沉积;制备红色滤光层、绿色滤光层、蓝色滤光层;制备滤光片保护层。使用黑色聚酰亚胺材料取代氧化硅、氮化硅或普通聚酰亚胺材料,使用高分辨率光刻胶图形化和氧气等离子刻蚀工艺,可制备≤0.5um的黑色PDL层,实现阻止光线穿透到邻近像素,改善光学串扰,提升色域的目的,同时满足高分辨率微显示应用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112786675 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202110212106.8
(22)申请日 2021.02.25
(71)申请人 安徽熙泰智能科技有限公司
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