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一种含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶及其制备方法.pdf

    本发明实施例公开了一种含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶及其制备方法，该光刻胶包括以下原料：0.1‑10重量组分的含双酯结构的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A。本发明实施例提供的所述的含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶通过添加的含双酯结构的光致酸产生剂使得光刻胶在进行光刻工艺时，光刻胶中的光致酸产生剂可产生有效的可控大体积酸，进而提升光刻胶的分辨率，减小了制作的电路的线宽和粗糙度，提高树脂的黏附性，改善光刻胶的整体性能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764314 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110089856.0 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人 宁波南大光电材料有限公司

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