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本发明提供一种蚀刻装置及显示装置的制造方法。蚀刻装置包括:真空腔室,作为在内部对对象基板执行蚀刻工艺的真空腔室,在上表面包括透光窗;基板移送单元,设置在所述真空腔室的内部,并且在下部安置所述对象基板;以及至少一个激光模块,设置在所述真空腔室的外部,并且包括激光照射单元,所述激光照射单元通过所述透光窗向所述真空腔室的内部照射激光束(LaserBeam)来执行所述蚀刻工艺。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112775555 A
(43)申请公布日
2021.05.11
(21)申请号 20201
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