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一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置.pdf

    本发明提供了一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，包括旋转底座、传动底座、旋转框架、固定部、回转电机、两组传送机构和一组导向机构，固定部固定在相应腔室内，回转电机安装在固定部内，且回转电机的电机轴连接旋转底座的中心，旋转底座安装在固定部上，且旋转底座和固定部之间设有轴承，回转电机连接并驱动旋转底座旋转。本发明基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112795887 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201911104878.9 (22)申请日 2019.11.13 (71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司

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