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一种产生“计量大学”聚焦光斑字样的位相板.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种产生“计量大学”聚焦光斑字样的位相板.pdf

    本发明公开了一种产生“计量大学”聚焦光斑字样的位相板。该位相板呈圆形，通过其表面的结构对入射光进行相位调制，产生“计量大学”聚焦光斑。其特征在于该位相板具有圆形的相位分布，能够使透过的平行光束在聚焦平面产生“计量大学”聚焦光斑字样，同时，改变入射光的波长还可以得到不同大小的聚焦光斑。在光刻领域、尤其是无掩膜光刻领域有着广阔的应用前景。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112799284 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20191

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