一种判断器件与切断层相对位置的方法.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种判断器件与切断层相对位置的方法.pdf

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本发明提供了一种判断器件与切断层相对位置的方法，包括：获取版图信息，并确定版图的待识别层；将位于栅极上的切断层记为POC，将所述POC沿垂直于栅极的方向延长至相邻的栅极，延长的部分记为POCspace_v_plg；将与POCspace_v_plg及所述POC相接触的栅极记为temp_poly；将与temp_poly相接触的AA记为temp_AA；将POCspace_v_plg、temp_POC、temp_AA和temp_poly围成POCspace_holes；将所述POCspace_v_plg

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838021 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011638349.X (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人杭州广立微电子股份有限公司