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抛光组合物及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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抛光组合物及其使用方法.pdf

    一种抛光组合物包括：磨料；pH调节剂；阻挡膜移除速率增强剂；第一低k移除速率抑制剂；第二低k移除速率抑制剂；含唑腐蚀抑制剂；及钴腐蚀抑制剂。本公开涉及使用本文所述的抛光组合物抛光包含钴的基底的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840003 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202080003981.9 (74)专利代理机构 北京博思佳知识产权代理有

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