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- 2023-06-07 发布于四川
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本发明涉及半导体技术领域，具体地说是一种利用数字测试通道测量电容量的方法。其特征在于包括如下步骤：S1，数字测试通道通电，根据被测芯片的预估电容范围选择可调采样电阻档位；S2，设置参数测量DAC的电压为0V；S3，设置电压钳位DAC、高阈值电压、低阈值电压参数；S4，设置PPMU单元的工作模式为强制恒流输出；S5，建立PPMU单元输出连接，切断逻辑电路连接；S6，复位TMU单元计数器，开始TMU单元测量；S7，设置参数测量DAC的电压为正电压范围的50%；S8，TMU单元测量完成，读取TMU单元
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112834826 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110026570.8
(22)申请日 2021.01.08
(71)申请人 胜达克半导体科技(上海)有限公司
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