一种氮化硅烧结炉.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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本发明公开一种氮化硅烧结炉,涉及烧结炉领域;包括炉壳、抽真空系统、气路系统,炉壳内设置有炉胆,炉胆侧壁上设置有加热元件,气路系统包括上气路系统和下气路系统,上气路系统包括上布气管、上进气管、上排气管;下气路系统包括下布气管、下进气管、下排气管;上排气管和下排气管的末端分别与总排气管连接,总排气管与过滤箱固定连接,过滤箱的内部固定连接有第一过滤板,且过滤箱的下端内部中间位置处固定连接有吹风扇,过滤箱的左端固定连接有除尘管,且除尘管的内部固定连接有抽风机,除尘管的另一端固定连接有布袋除尘器,过滤箱的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115727665 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202211381298.6 (22)申请日 2022.11.07 (71)申请人 衡阳凯新特种材料科技有限公司 地址

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