一种碳基表面形成的碳化钽涂层及其形成方法和用途.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种碳基表面形成的碳化钽涂层及其形成方法和用途.pdf

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本发明公开了一种碳基表面形成碳化钽涂层方法，所述方法包括：提供一碳基体；于所述碳基体表面形成至少一预涂层，所述预涂层的原料由碳化钽粉末和/或五氧化二钽、石墨粉，以及酚醛树脂的混合物组成；于所述预涂层表面涂覆五氧化二钽以形成表层；经加热和退火步骤，所述五氧化二钽和碳反应还原生成碳化钽，所述预涂层形成所述碳和所述碳化钽混合涂层，所述表层形成所述碳化钽涂层，其中，所述碳由所述碳基体、所述石墨粉和所述酚醛树脂提供。根据本发明提供的碳基表面形成碳化钽涂层方法可有效改善因碳化钽涂层和碳基体膨胀系数差异过大引

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112830815 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110077559.4 (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人中电化合物半导体有限公司