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本发明提供一种用于晶圆键合的对准检测方法,通过分别将每片晶圆的光掩膜检测数据转换为图形数据流数据,将键合后的晶圆的图形数据流数据进行层叠,观察待检测位置的图形数据流数据是否有不一致的地方,从而判断晶圆能否对准,提高了光掩膜检测数据对准检测的效率和准确性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112838019 A
(43)申请公布日
2021.05.25
(21)申请号 20191
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