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本发明公开了一种图案化电极及其制备方法和应用,该方法包括以下步骤:取芯片,芯片包括导电基板、光刻胶和第二基板,第二基板靠近光刻胶的一侧表面上设置有图案化流道,图案化流道包括第一流道,第一流道具有第一开口和第二开口,在第一流道上形成第二流道,第一流道与第二流道形成连通的闭环通道,闭环通道内设置有第三流道,第三流道的一端开口设置于闭环通道内,第三流道的另一端连通闭环通道;从第一开口或第二开口注入不透光液体,光照使得光刻胶固化,去除未固化的光刻胶;关闭第三流道的一端开口,从第一开口或第二开口注入腐蚀液
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112816535 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202011622339.7 B81C 1/00 (2006.01)
(22)申请日 2020.12.
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