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2023-06-07 发布于四川
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图案化电极及其制备方法和应用.pdf

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本发明公开了一种图案化电极及其制备方法和应用，该方法包括以下步骤：取芯片，芯片包括导电基板、光刻胶和第二基板，第二基板靠近光刻胶的一侧表面上设置有图案化流道，图案化流道包括第一流道，第一流道具有第一开口和第二开口，在第一流道上形成第二流道，第一流道与第二流道形成连通的闭环通道，闭环通道内设置有第三流道，第三流道的一端开口设置于闭环通道内，第三流道的另一端连通闭环通道；从第一开口或第二开口注入不透光液体，光照使得光刻胶固化，去除未固化的光刻胶；关闭第三流道的一端开口，从第一开口或第二开口注入腐蚀液

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112816535 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202011622339.7 B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 2020.12.

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