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本发明提供液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质。液体材料气化装置包括：控制阀(1)，设置于材料流体所流通的流道，所述材料流体为液体材料或液体材料气化得到的材料气体；压力传感器(3)，设置在比所述控制阀(1)更靠下游侧；流量传感器(2)，测定材料流体的流量；以及阀控制器(4)，对所述控制阀进行控制，以使设定压力与所述压力传感器测定的测定压力的偏差变小，并且使所述流量传感器测定的测定流量成为限制流量以下，所述限制流量为根据液体材料可气化的上限流量而设定的流量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864049 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011361749.0
(22)申请日 2020.11.27
(30)优先权数据
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