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照明均匀性补偿装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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照明均匀性补偿装置和方法.pdf

    本发明属于光刻设备技术领域，公开了一种照明均匀性补偿装置和方法，其中照明均匀性补偿装置包括：沿照明视场的光轴方向依次设置的多个补偿版，且各所述补偿版沿所述照明视场的长度方向延伸并沿所述延伸方向设有多个相互间隔且高度不相同的补偿台阶，各所述补偿版上的所述补偿台阶沿所述照明视场的长度方向进出所述照明视场以遮挡部分照明光。补偿台阶进入照明视场中作为补偿区域能够遮蔽部分照明光，不同高度的补偿台阶能够实现补偿不同的照度，多个补偿版沿照明视场的长度方向延伸并移动，使得不同高度的补偿台阶移动至目标区域后，实现

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115729047 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202111005473.7 (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人 上海微电子装备（集团）股份有限公

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