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一种手性对称结构超表面圆偏振光检测元件,包括透光基底和位于透光基底上的旋转对称介质结构层,所述的介质结构层由两个半圆柱构成的旋转对称结构阵列构成。本发明可以通过电子束曝光和显影技术以及离子束刻蚀等工艺流程制得。该元件在1.54μm具有很强的圆偏振二色性,达到94.3%,消光比大于45:1,偏振透过率大于95%,同时其结构简单,性能优异,易于制作,在光学传感、光学成像等领域具有很大的应用价值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112881302 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202110097917.8
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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