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本发明提供了基于定量环的气体定量装置及方法,所述基于定量环的气体定量装置包括定量环;定量环设置在第一切换模块和第二切换模块之间;所述第一切换模块用于使所述定量环的一端选择性连接气源和气体出口,所述第二切换模块用于使所述定量环的另一端选择性地连通压力控制单元和气体入口;压力控制单元用于根据所述定量环内的压力而调整,并输出调整后的压力。本发明具有定量的气体量可变等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112856230 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011616658.7
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 杭州谱育科技发展有限公司
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