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本发明公开了一种MicroOLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法，具有：表面处理模块，能够向基板发射等离子流；赋电模块，能够对基板上的杂质颗粒附加电荷；磁场模块，能够对基板上的带电杂质颗粒施加电磁力；输送机构，能够使基板在表面处理模块、赋电模块、磁场模块内输送；基板能够在赋电模块和磁场模块之间往复运动，减少基板表面杂质颗粒，提高产品良品率，同时，在基板表面赋予电荷的同时，可以减小其表面能，使得后续界面接触更加紧密。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864345 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110219284.3
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 安徽熙泰智能科技有限公司
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