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- 2023-06-08 发布于四川
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本文披露了一种用于替换坩埚的蒸发沉积系统，所述蒸发沉积系统包括：真空腔室，所述真空腔室被配置为容纳基板；蒸发源，所述蒸发源被配置为供应气相沉积材料至基板；多个移动腔室，每个移动腔室被配置为沿着轨道移动并且容纳蒸发源；和连接腔室，所述连接腔室被配置为连接移动腔室和真空腔室，其中每个移动腔室的前表面具有第一开口和第一开关阀，气相沉积材料通过所述第一开口移动至连接腔室中，并且第一开关阀打开和关闭第一开口。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112867808 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 201980068082.4 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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