一种柔性薄膜压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种柔性薄膜压力传感器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种柔性薄膜压力传感器，所述柔性薄膜压力传感器包括由下而上依次叠加的下柔性基板、电极层，双面黏性垫片，复合材料敏感层和上柔性基板；所述制备方法包括如下步骤：S1，对下柔性基板、上柔性基板的表面分别进行改性处理；S2，在下柔性基板的上表面印刷银浆、金浆或铜浆，形成图案化电极，即电极层；S3，上柔性基板的下表面丝网印刷导电复合浆料，经过固化形成复合材料敏感层；S4，在电极层与复合材料敏感层之间设置双面黏性垫片，之后贴合在一起，形成所述柔性薄膜压力传感器。本发明柔性薄膜压力传感器具有高精度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116222835 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202211631617.4 (22)申请日 2022.12.19 (71)申请人无锡芯感智半导体有限公司地址