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切削装置.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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切削装置.pdf

    本发明提供切削装置，其不会损伤晶片和切削刀具，并且不会从安装座与切削刀具之间吸引切削水和切削屑。切削装置(2)具有控制单元(70)，在压力计(56)所测量的值未达到容许值的情况下，该控制单元(70)阻止旋转轴(26)开始旋转并阻止开始提供切削水，在压力计(56)所测量的值达到容许值的情况下，该控制单元(70)容许旋转轴(26)开始旋转，并且在旋转轴(26)开始旋转之后，容许开始提供切削水。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112847857 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011338136.5 H01L 21/304 (2006.01) (22)申请日

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