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一种晶圆清洗装置、控制方法、控制器及系统.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种晶圆清洗装置、控制方法、控制器及系统.pdf

    本发明提供一种晶圆清洗装置、控制方法、控制器及系统，包括：外槽以及外槽内的内槽，内槽用于盛放晶圆，内槽连接有输入管道，输入管道用于向内槽输入清洗液，以使清洗液对晶圆进行清洗；外槽连接有第一输出管道，第一输出管道用于输出从内槽溢出至外槽的清洗液；第一输出管道上设置有浓度传感器，浓度传感器用于检测流经第一输出管道的清洗液中的颗粒浓度，以便根据颗粒浓度控制输入管道中的清洗液的流量。这样，通过在第一输出管道上设置浓度传感器，检测第一输出管道中的清洗液的颗粒浓度，获得内槽中的清洗液的颗粒浓度。而后根据内槽

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864050 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011554749.2 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司

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