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使用砷化镓的高性能可调谐滤波器.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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使用砷化镓的高性能可调谐滤波器.pdf

    公开了一种砷化镓(GaAs)使能的可调谐滤波器，用于例如6GHzWi‑FiRF前端，具有集成的高性能变容器、金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器和3D螺线管电感器。可调谐滤波器包括具有高电容调谐比的超突变可变电容器(120)(变容器)。可调谐滤波器还包括GaAs衬底，其中形成有GaAs通孔(160)(TGV)。变容器与MIM电容器和3D电感器(142)一起形成在GaAs衬底的上表面上的上部导电结构(150)中。包括下部导体的下部导电结构(170)形成在GaAs衬底的下表面上。下部导电结构与上部

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115735329 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202180045970.1 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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