原创力文档- 16
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- 2023-06-08 发布于四川
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提供一种能够高效地冷却气体，并且检修频次较少的真空泵。具备：主体壳体（14），具有气体的进气部（12）和排气部（13）；涡轮分子泵机构部（17），形成有定子翼（19）和转子翼（20）；螺纹槽泵机构部（18），设置于涡轮分子泵机构部（17）的下游侧；冷却阱部（81），将从涡轮分子泵机构部（17）导出的气体冷却而使其向螺纹槽泵机构部（18）侧流出；分隔壁（29），将从涡轮分子泵机构部（17）导出的气体引导至冷却阱部（81）。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112867867 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 201980068548.0 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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