一种铁电存储器的单元结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种铁电存储器的单元结构及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种铁电存储器的单元结构及其制备方法，所述铁电存储器的单元结构包括衬底、两个n+区、源极、漏极、第一氧化层、第二氧化层、第三氧化层、铁电薄膜和栅极；衬底之上沉积有第一氧化层，在第一氧化层上刻蚀有第一矩形窗口以及第二矩形窗口，在第一矩形窗口以及第二矩形窗口处形成有两个n+区、源极和漏极，在第一氧化层、源极和漏极之上沉积有第二氧化层，在第二氧化层中设置有第三矩形窗口，铁电薄膜沉积在第三矩形窗口内，在第二氧化层以及铁电薄膜之上沉积有第三氧化层，在第三氧化层之上沉积有栅极。本发明的铁电存储器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864010 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110264833.9 (22)申请日 2021.03.11 (71)申请人铜仁学院地址 55