原创力文档- 3
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- 2023-06-08 发布于四川
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一种测试设备和测试方法，所述测试设备包括：检测接口装置，配置为容纳待测试半导体器件；信号采集装置，配置为采集至少一个脉冲信号；信号提供装置，配置为向待测试半导体器件提供具有可调的物理特征的至少一个脉冲信号；状态获取装置，配置为在检测接口装置中两个检测接口之间获取待测试半导体器件的实时状态；预处理装置；以及控制器，配置为响应于实时状态，调整至少一个脉冲信号的物理特征，以获得至少一个脉冲信号的物理特征与实时状态二者的关系。该测试设备可以通过调整脉冲信号来动态地执行待测试半导体器件的超高速脉冲测试。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112863589 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202010921961.1
(22)申请日 2020.09.04
(71)申请人 清华大学
地址 10
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