原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种高精度面型测量系统，属于高精度面型测量仪技术领域，解决了现有技术中的面型测量系统对于球面、非球面和自由曲面等不规则曲面难以实现纳米级面型精度测量的问题，本发明包括实时反馈系统、运动扫描系统、实时定位激光系统、回转工作台和支撑框架，回转工作台、实时反馈系统和运动扫描系统均安装于支撑框架上，实时定位激光系统安装于运动扫描系统上，实时定位激光系统包括旋转轴，旋转轴上安装有光谱共焦测头，所述运动扫描系统包括X向运动副，X向运动副上安装有Z向运动副，旋转轴通过安装支架安装于Z向运动副上，安
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112857257 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110330766.6
(22)申请日 2021.03.26
(71)申请人 四川欧瑞特光电科技有限公司
文档评论（0）