一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统和检测方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统和检测方法.pdf

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本发明公开了一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统。该测量系统包括照明光路、水平运动平台、反射光路、采集光路和计算模块。水平运动平台上能安装被测物。照明光路的入射光部分聚焦至被测物表面，再反射至所述发射光路，再在反射光路上反向射回，并经过反射光路上的分光镜侧向射出反射光路，射向所述采集光路。所述计算模块连接于所述采集光路和所述水平运动平台。本发明以倾斜射入测试光波的方式对被测物表面信息进行采集，采集光路采集到的波长信息代表当前测量物表面的相对轴向高度，计算模块通过结合水平运动平台扫描测量被测物整个

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112857262 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110096581.3 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人华侨大学地址 36