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本发明涉及一种基于复合减速算法的低成本压痕仪压头软着陆方法及系统。通过确定步进电机待运动的距离；获取测量误差；根据步进电机待运动的距离和测量误差，确定步进电机在高速阶段运动的距离；驱动步进电机匀加速增大至最高速度后进行一段匀速运动，再进行一段匀减速运动达到低速阶段的初始速度，直至压头运动至步进电机在高速阶段运动的距离；驱动步进电机通过圆弧形减速算法逐渐减速至固定速度后进行匀速运动；判断力值是否大于最大动态误差；若是，步进电机以较小的速度反方向运动，直至力值小于或等于平均动态误差，步进电机停止运动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112881175 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110102764.1 (56)对比文件
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