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一种硅料清洗剂及清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种硅料清洗剂及清洗方法.pdf

    本发明公开了一种硅料清洗剂，清洗剂包含以下重量份原料：氢氟酸1‑99份、盐酸1‑99份、硝酸1‑99份、乙醇1‑99份、柠檬酸1‑99份、水1‑99份。本硅料清洗液清洗效率高，对硅料能够实现大批量处理，无需大型自动设备辅助完成；清洗效果好，其硅料表面的络合作用比混酸腐蚀效果更好，能高效的溶解硅料表面的有机杂质、络合表面金属；清洗过程不腐蚀硅料表面，因其原理为络合反应，不对硅料进行腐蚀过程，提高硅料清洗出料率；本清洗液采用浸泡方式清洗硅料，时间短一般为3‑4小时，浸泡过程不需人工、设备操作，浸泡后

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112852564 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110023152.3 (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人 孟闯 地址 1210

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