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本发明公开了一种基于倾斜聚焦和旋转扫描的调制轮廓测量系统及方法，通过将光栅倾斜光轴放置，使得其清晰像面在测量空间内为倾斜平面，在投影透镜后放置高反射镜将光轴偏折近90°，旋转反射镜使得条纹清晰成像面完成对整个被测物体表面的扫描，由CCD相机通过分束器同步捕获携带物体表面信息的条纹图，利用相移技术，由条纹光强信息得到每个像素的调制度曲线，根据所获得的调制度峰值序号，即可利用已知的系统映射参数重建每个像素的高度。本发明采用旋转扫描代替轴向扫描，使测量系统更加灵活、紧凑，倾斜放置光栅也能显著扩大测量深
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112880590 B
(45)授权公告日 2021.12.07
(21)申请号 202110077099.5 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.20
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