原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种蒸镀有能提高灵敏度的高反膜的微通道板及蒸镀方法。所述微通道板通过是真空镀膜技术，在其的输入端导电层表面镀制一层介质膜，将输入端导电层覆盖；所述介质膜层既能覆盖微通道板通道入口内的输入电极，又能覆盖微通道板输入端表面上的输入电极；所述介质膜层材料为铝或银。该膜层蒸镀方法包括在镀膜机的坩埚中放入蒸发源银锭或铝锭、镀膜机真空度达到2x10‑5时镀膜程序、镀膜程序结束后向真空室充入氮气至恢复至大气压并取出微通道板。采用本发明提供的镀银或镀铝的微通道板制作的像增强器，灵敏度均值比正常管分别
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112885700 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202110047290.5 H01J 31/50 (2006.01)
文档评论（0）