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一种金属掩膜版用高精度蚀刻机.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种金属掩膜版用高精度蚀刻机.pdf

    本发明公开了一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体，所述箱体的内部活动安装有托板，箱体的背面固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的正面固定安装有第一连接筒，第一连接筒的底部固定安装有喷嘴，第一连接筒的顶部连通有第一伸缩软管，第一伸缩软管的顶部连通有喷淋泵，箱体的背面固定安装有气缸，气缸的正面固定安装有第二连接筒，第二连接筒的底部固定安装有喷头，第二连接筒的顶部连通有第二伸缩软管。通过设置的电动伸缩杆和气缸，可以让喷嘴和喷头进行移动，不必再设置大量的喷嘴来对金属掩膜版进行喷射化学药液蚀刻，不仅节省了大

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853355 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011637974.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 常州高光半导体材料有限公司

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