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- 2023-06-08 发布于四川
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公开了一种包括集成字线(WL)触点结构的存储器阵列。存储器阵列包括多个WL，多个WL至少包括第一WL和第二WL。集成WL触点结构包括分别用于第一WL和第二WL的第一WL触点和第二WL触点。第二WL触点延伸穿过第一WL触点。例如，第二WL触点嵌套在第一WL触点内。中间隔离材料将第二WL触点与第一WL触点隔离。在示例中，第二WL触点延伸穿过第一WL中的孔以到达第二WL。隔离材料将第二WL触点与第一WL中的孔的侧壁隔离。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864161 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011012817.2 H01L 27/1157 (2017.01)
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