原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种光掩膜版及其制作方法，其中所述制作方法包括：提供透明基板，所述透明基板包括第一表面和与第一表面相对的第二表面；在所述透明基板的第一表面上形成多个分立的遮蔽图形；在所述相邻遮蔽图形的之间的透明基板的第二表面上形成线状的微透镜，所述线状的微透镜用于将从所述第二表面入射的曝光光线更多的汇聚到相邻遮蔽图形的之间的透明基板的第一表面。在采用本申请的光掩模版进行曝光时，通过所述线状的微透镜可以将从所述第二表面入射的曝光光线更多的汇聚到相邻遮蔽图形的之间的透明基板的第一表面(或者汇聚到遮蔽图形之间的透光区
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116224712 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202310025669.5
(22)申请日 2023.01.09
(71)申请人 睿晶半导体（宁波）有限公司
地址
文档评论（0）