一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法，包括：氢终端金刚石衬底，栅介质层，钝化介质层和带有场板结构的栅电极；所述氢终端金刚石衬底上设有源极电极和漏极电极，所述源极电极和漏极电极和之间为沟道区域，所述栅介质层设置在沟道区域上，所述栅电极设置在栅介质层上，所述钝化介质层设置在栅介质上，位于栅电极的栅脚的两侧。本项发明不仅可以有效降低边缘峰值电场，提升器件的击穿电压，还能提升器件的高温稳定性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864235 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110116292.5 H01L 21/336 (2006.01)