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一种吸气/离子复合一体泵.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种吸气/离子复合一体泵.pdf

    本发明涉及一种吸气/离子复合一体泵，包括用作阴极的吸气剂板、连接高压的阳极筒、真空腔外壳、电引入、绝缘件、真空连接管、强磁铁等配件。工作时，可直接启动高压电源，电离后气体离子直接轰击阴极板，将吸气剂表面上的氧化层打掉，即同步完成吸气剂激活，飞溅出的吸气剂颗粒组成薄膜沉积到了阳极筒壁，对惰性气体进行了掩盖，具备了吸收惰性气体的能力。所述的吸气/离子复合一体泵通过结构设计，去除了吸气剂的激活单元，兼顾吸收惰性气体以及大大提升了吸收氢气速率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112901448 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110268533.8 (22)申请日 2021.03.12 (71)申请人 张心强 地址 100

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