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- 2023-06-09 发布于四川
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本发明公开了一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,包括以下步骤:(1)制备镀有镍膜的硅基底放入石英舟,再放入CVD管式炉;(2)常温下,通入缓冲气体,去除CVD管式炉内空气;(3)在缓冲气体的气氛中,将CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,再从1080℃升温至1100℃;(4)在缓冲气体气氛下,维持CVD管式炉在1100℃,同时通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在石英舟上沉积30‑50min;(5)仅通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,CVD管式炉冷却至室温。本发明制备工艺简单
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112897508 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110264192.7
(22)申请日 2021.03.11
(71)申请人 南昌大学
地址 33
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