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一种激光加工装置(1)，其具有：焦距可变光学系统(10)，其根据输入的驱动信号(Cf)使对焦位置(Pf)周期性地变化；位置检测用光源(41)，其经由焦距可变光学系统(10)向工件(W)照射检测光；光检测器(44)，其接收在工件(W)被反射的检测光(Lm)并输出光检测信号(Int)；信号处理部(62)，其基于输入的光检测信号(Int)，输出与检测光在工件(W)的表面对焦的对焦正时同步的同步脉冲信号(Sync)；激光振荡器(311)，其基于输入的同步脉冲信号(Sync)使脉冲激光(Lp)振荡，经由焦
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112894127 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202011405727.X
(22)申请日 2020.12.03
(30)优先权数据
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