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一种用于溅射液体目标（3）的溅射设备，包括用于接收液体目标材料的槽（2），其特征在于设备包括用于搅拌或搅动液体目标材料的装置（25），该装置被配置成使液体目标材料去气或/和使目标的表面（4）上的固体颗粒或岛消散或/和将这种颗粒或岛从有源表面区（SA）移动到无源表面区（SP）和/或反之亦然，由此无源表面区（SP）比有源表面区（SA）少暴露于溅射至少50％。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112912535 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 201980070162.3 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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