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一种非接触式矢量偏振光场测试系统.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种非接触式矢量偏振光场测试系统.pdf

    本发明提出一种非接触式矢量偏振光场测试系统，其包括沿光路布置的照明模块、样品模块、收集与分束模块、纵向偏振成像模块、横向偏振成像模块和数据处理与显示模块。其在传统显微镜基础上，通过偏振转换，并利用显微系统的光杠杆效应实现偏振滤波，对位于显微物镜焦平面的光场进行非接触式测量，可以快速、同步、独立获取所测量光场的横向偏振光场（即x方向线偏振光场和y方向线偏振光场）和纵向偏振光场（即z方向线偏振光场）的成像。本发明可以应用于远场超分辨光学器件的检测、远场超分辨光场的测量，也可应用于工业相关超分辨显微检

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113218635 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110549106.7 (22)申请日 2021.05.20 (66)本国优先权数据 2021104

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