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本发明公开了电镜定量消除像散的方法，包括以下步骤：S1：收集电镜照片，定义电镜照片的坐标系；S2：在S1后，进一步，通过计算获得照片最大欠焦值D1、最小欠焦值D2和像散角θ；S3：测量电镜每个像散器调整量与像散值改变的线性关系；S4：在S3后，进一步，在像散值最小时，通过连续改变一个像散器调整的像散值，获取系列照片；S5：在S4后，进一步，计算获得的定量像散器调整值下的像散值，找出像散值与像散器调整值的关系；解决了以往消除像散精度低、速度慢的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112924477 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202110091433.2 审查员 张维景
(22)申请日 2021.01.23
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