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本发明涉及一种转移构件、转移装置及转移方法，转移构件包括：控制单元，被配置为响应外部控制信号而给臂部单元施加作用力；与所述控制单元连接的臂部单元，所述臂部单元被配置为响应所述作用力而对微元件进行夹取操作、松开操作和夹取状态下的翻转操作。转移构件、转移装置及转移方法能够利用转移构件从待转移基板上夹取微元件后进行翻转，再放到接收基板上，实现了微元件从待转移基板到接收基板的转移，同时实现了对微元件进行翻转，因此，只需要经过一次转移，改善了微元件的相关转移技术。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112967949 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202010803725.X H01L 33/48 (2010.01)
(22)申请日 2020.08
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