一种高品质因数声表面波谐振器.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种高品质因数声表面波谐振器.pdf

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本发明公开一种高品质因数声表面波谐振器，该谐振器为单端口谐振器，该谐振器包括衬底层、设置在衬底层上的压电基底、设置在压电基底上的金属电极层；金属电极层包括叉指电极、母线和反射栅，反射栅对称布置在叉指电极的两侧，母线与叉指电极连接；沿着声表面波谐振器的主传播方向，反射栅的栅条为长度递增的直线段，或者，反射栅的栅条包括中部的竖直直线段和两端向叉指电极方向弯折的弯折段，使得单侧的反射栅整体呈扇形，竖直直线段的长度不小于叉指电极的孔径。本发明利用扇形反射栅，并同时采用栅形母线，将由中间叉指电极向声表面波

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112968687 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110187466.7 (22)申请日 2021.02.18 (71)申请人浙江大学地址 31