原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法，该热流传感器包括：硅衬底；形成于硅衬底顶部的多孔硅；第一绝缘层，覆盖硅衬底及多孔硅的上表面；电阻条，位于第一绝缘层上；第二绝缘层，至少覆盖电阻条的上表面及侧面，且局部刻蚀形成接触孔；金属层，位于第二绝缘层上，且局部位于多孔硅的上方，部分金属层通过接触孔与电阻条连接；耐高温涂层，覆盖第二绝缘层和金属层，且局部刻蚀以暴露部分金属层。本发明基于微机械热电偶/热电堆的高温热流传感器体积小、灵敏度高、响应速度快，且利用较厚的多孔硅形成绝热支撑结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112938892 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110119811.3
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 青岛芯笙微纳电子科技有限公司
文档评论（0）