具混合光栅结构的面发射激光元件与制法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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具混合光栅结构的面发射激光元件与制法.pdf

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将一面发射激光元件的光栅层在至少一第一水平方向上区分为一第一光栅区及一第二光栅区。该第二光栅区是位于光栅层的一中间区域、而第一光栅区则位于光栅层的外侧区域。于各该第一光栅区及该第二光栅区内分别包含多个微光栅结构。该第一光栅区内的多个该微光栅结构的光栅周期是符合以下数学式：并且，该第二光栅区内的多个该微光栅结构的光栅周期是符合以下数学式：其中，∧是光栅周期长度，λ是该激光的该激光波长，neff是半导体波导的等效折射率，m＝1且o＝2。因此，该第一光栅区为第一阶光栅结构区、且该第二光栅区则为第二阶光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112952551 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 201911166887.0 (22)申请日 2019.11.25 (71)申请人光环科技股份有限公司