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- 2023-06-10 发布于四川
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本发明涉及电化学抛光的技术领域，公开了一种用于电催化辅助化学机械抛光的自放电磨料，其特征在于：包括硬质微粉和压电陶瓷粉末按照质量百分比构成的聚合磨料，所述聚合磨料的粒度在5～150μm之间。还公开了一种用于电催化辅助化学机械抛光的自放电磨料的制备方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115710486 A
(43)申请公布日 2023.02.24
(21)申请号 202211295247.1
(22)申请日 2022.10.21
(71)申请人 上海工程技术大学
地址 20162
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