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2023-06-10 发布于四川
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一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源.pdf

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本发明公开了一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源，阳极具体表现为具有一定长度的可导电磁环。小型化离子源为典型的潘宁离子源结构，在这个系统中，电子在电场和磁场的共同作用做螺旋线运动，从而产生高密度潘宁等离子体。本发明通过一个具有磁性的阳极结构增强离子源轴向磁场的磁场强度和均匀度，增加电子在放电区域的轨迹长度，增大离子源工作气体和电子的碰撞几率，增大离子源工作气体的电离率，从而实现离子源原子离子比的提高，同时该类型离子源结构简单，制造成本低，寿命长，易于实现小型化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112928001 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110101071.0 (22)申请日 2021.01.26 (71)申请人中科石金（安徽）中子技术有限公司

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