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本发明实施例提供了一种高分辨率光刻胶，该光刻胶包括以下原料：0.1‑10重量组分的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A；其中所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，所述酸扩散抑制剂为带酯键的酸扩散抑制剂，带酯键的酸扩散抑制剂的分子量为100‑30000g/mol。本发明实施例提供的光刻胶在采用含双酯结构的光致酸产生剂的条件下，通过添加带酯键的酸扩散抑制剂，进一步改善了光刻胶的线宽粗糙度，提高了光刻胶的分辨率，增强了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112925166 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110089845.2 C07C 67/08 (2006.01)
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