【半导体培训资料】XRD原理及Jade软件使用说明.pptVIP

4. Origin的使用 制作标准卡片图谱 将txt文本文档里数据复制到excel，进行分列 将EF两列复制到origin中进行作图 选取2-Theta和I(f)两列分别替换 4. Origin的使用 2. 作图 将数据复制到origin里，选中数据 菜单Plot | Multi-Curve | Stack Lines by Y Offsets 4. Origin的使用 2. 归一化 以标准卡片里衍射峰强度为100的角度为标准，将各个样品的测试数据在此角度的峰强设为统一值 归一化 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 ?#? 本节内容结束 ?#? XRD原理及 Jade软件使用说明 主要内容 1 晶体学基础 MDI Jade的使用 3 2 XRD原理 4 Origin作图 1. 晶体学基础 晶体： 是由质点(原子、分子、离子或原子团)结合而成的、各向异性的均匀物体，具有一定的熔点，生长良好时在三维空间呈有规则、周期性重复排列，即长程有序的固体。 实际晶体中的质点(原子、分子、离子或原子团等)在三维空间可以有无限多种排列形式。为了便于分析研究晶体中质点的排列规律性，可先将实际晶体结构看成完整无缺的理想晶体并简化，组成所谓的空间点阵。 阵点（结点）: 将质点抽象为规则排列于空间的几何点 空间点阵: 阵点在三维空间规则排列的阵列，简称点阵 空间格子: 用平行的直线将阵点连接起来构成的三维几何格架 空间点阵主要特征： 每个阵点具有完全相同的周围环境 晶体结构： 阵点是单个原子（离子或分子）时所构成的空间阵列 晶格： 将晶体点阵中的阵点用平行的直线连接起来，构成三维几何格架 1. 晶体学基础 晶胞： 组成点阵的具有代表性的基本单元，称为晶胞 如何选取晶胞？应遵循下述原则 (1)对称性 选取的平行六面体应反映点阵的最高对称性； (2)相等性 平行六面体内的棱和角相等的数目应最多； (3)直角性 当平行六面体的棱边夹角存在直角时，直角数目应最多。 (4)最小性 在满足上述条件的情况下，晶胞体积应最小。 晶胞的大小和形状的表示方 (1)以某一顶点为坐标原点 (2)三个棱边为a 、 b 、 c (3)三轴间夹角α、β、γ X Y Z a b c ? ? ? 晶系: 根据6个点阵参数间的相互关系，可将全部空间点阵归于7种类型，即7个晶系 1. 晶体学基础 (1)三斜 triclinic system(2)单斜 monoclinic (3)正交(斜方) rhombic(4)六方hexagonal (5)菱方(三角) trigonal (6)四(正)方 tetragonal(7)立方 cubic (1)立方（等轴）晶系 1. 晶体学基础 a. 简立方 b. 体心立方 c. 面心立方 1. 晶体学基础 （2）四方晶系 a.简单四方 b. 简单四方 1. 晶体学基础 （3）三方晶系 1. 晶体学基础 a. 简单正交 b. 底心正交 c. 体心正交 d. 面心正交 （4）正交晶系 a b c d 1. 晶体学基础 （5）单斜晶系 ?= ? = 900 ? ≠ 900 a. 简单单斜 b. 底心单斜 1. 晶体学基础 （6）三斜晶系 ?≠ ? ≠ ? ≠900 夹角不等 1. 晶体学基础 （7）六方晶系 1. 晶体学基础 晶向——通过晶体中任意两个原子中心连成直线来表示晶体结构的空间的各个方向。 晶面——晶体结构一系列原子所构成的平面。 晶向指数和晶面指数是分别表示晶向和晶面的符号，国际上用Miller指数（Miller indices ）来统一标定。 1. 晶体学基础 晶向 通过晶格中任意两个格点连一条直线称为晶列，晶列的取向称为晶向，描写晶向的一组数称为晶向指数(或晶列指数)。 过一格点可以有无数晶列。 晶面 在晶格中，通过任意三个不在同一直线上的格点作一平面，称为晶面，描写晶面方位的一组数称为晶面指数。 1. 晶体学基础 某一晶向指数代表一组在空间相互平行且方向一致的所有晶向。 若晶向所指的方向相反，则晶向数字相同符号相反。 晶向指数-[uvw] 晶向族-〈uvw〉 晶体中原子排列周期相同的所有晶向为一个晶向族，用〈uvw〉表示。同一晶向族中不同晶向的指数，数字组成相同。 例如立方系中OA、OB、OC边的晶向指数[100]、[010]、[001]、[100]、[010]、[001]等六个晶向，由于对称关系，他们的性质完全相同，用〈100〉表示。 1. 晶体学基础 晶面指数-(hkl) 确定晶面指数（hkl）的步骤