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本发明涉及热导测量设备技术领域，提供一种热导测量装置、系统及方法，上述热导测量装置包括激光发生器、光路组件、非相干光源、入射光纤、接收光纤和光电探测器，激光发生器通过光路组件向微纳薄膜材料投射加热激光且在微纳薄膜材料上形成第一光斑，非相干光源通过入射光纤向微纳薄膜材料投射探测光且在微纳薄膜材料上形成与第一光斑相重合的第二光斑，探测光经微纳薄膜材料反射形成第一反射光，光电探测器通过接收光纤接收第一反射光，由于探测光为非相干光，有效避免探测光产生干涉效应，有效提高热导测量装置的测量精度；通过入射光纤
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113008929 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110196255.X
(22)申请日 2021.02.22
(71)申请人 哈尔滨工业大学（深圳）
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